至80年代末，無需光罩 ，都有激光直寫光刻與光學缺點檢測技能，奠定了其在光刻和微納加工范疇的技能根底。

2025年，光罩的出產也是極具應戰的一環。

挨近/觸摸式光刻機是光學投影光刻機的開山祖師