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別離擔任拋光 、超精細拋光工藝到達外表粗糙度優于0.2納米(世界干流水平0.3納米);磁控濺射鍍膜設備完結膜層均勻性±2%(世界標準±5%);缺點檢測體系可辨認0.3微米級瑕疵并相關出產數據  。龍圖光罩和國內多家自研光刻機等企業驗證 。”

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