性生生活片光刻工艺套刻设备，本乡亟待打破-6488avav發布時間:2025-11-06 18:00:54分類: 最新新聞 還有一種設備亟待完結零的打破，根據衍射的丈量（DBO）選用DBO技能的套刻設備 ，TIS（tool induced shift）指套刻丈量設備針對同一套刻標識分別在旋轉180°前后做丈量 ，這種需求增加直接體現在設備的裝備上 ：28nm邏輯產線每萬片產能一般裝備約3臺Overlay設備；14nm等先進制程則一般需求3-4臺；更先進的工藝對Overlay設備的需求密度繼續攀升。詳細參數包含：OMF和TMU
