其國產化是我國半導體設備自主化的要害一役 。這個關于有上千個部件的設備是個極大的檢測 。所得到丈量成果與均勻值的規范差錯(σ)。就需求相應的丈量設備。電子 、28nm及以下制程設備需求占80%以上  ，大陸晶圓廠的實踐需求遠超這一數字。更是一場從底層技能到工業鏈生態的體系性重構。這是一個體系性工程