久久国产免费视频光刻工艺套刻设备，本乡亟待打破-6488avav發布時間:2025-09-07 19:54:01分類: 最新新聞 導電互聯的要害參數之一 。支撐300/200mm晶圓。套刻設備每年為KLA奉獻了10億美金的收入體量。其參加界說晶圓各層平面圖形的方位 ，TIS（tool induced shift）指套刻丈量設備針對同一套刻標識分別在旋轉180°前后做丈量