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就使得套刻丈量設(shè)備的技能難度遠(yuǎn)超一般的光學(xué)量測(cè)設(shè)備 。因?yàn)榇箨懽钍滓木A廠制程仍是在14nm及以上的節(jié)點(diǎn) ,KLA和ASML兩大巨子的Overlay方位難以撼動(dòng)。一起考慮到先進(jìn)制程軍備競賽式的擴(kuò)產(chǎn)