資金將用于半導體光刻用石英掩模基板的工藝研發
、公司打破了半導體掩模版基板精細拋光與鍍膜要害技能 ,「中科卓爾」已完結三項自主打破,且國產化率較高的國內空白掩模版范疇的搶先企業
。具有從工藝到中心設備的研發出產才能,檢測等中心工藝。”
四川鼎祥項目擔任人表明:“咱們從天使輪出資中科卓爾以來 ,超精細拋光工藝到達外表粗糙度優于0.2納米(世界干流水平0.3納米);磁控濺射鍍膜設備完結膜層均勻性±2%(世界標準±5%);缺點檢測體系可辨認0.3微米級瑕疵并相關出產數據。
出資方觀念:
中銀世界出資項目擔任人表明:“中科卓爾在半導體資料范疇具有技能稀缺性與工業鏈卡位優勢