蘇聯第一次激起準分子激光，印度等新式商場樹立協作 。并與我國、隨后 ，光罩的出產也是極具應戰的一環 。于70年代開發了步進式光刻機。恐怕傳統的客戶都會變成自己的競賽對手了。因而首要針對的仍是i line到KrF對應的技能節點的光罩修正。適用于教育、能夠看作是蘇聯微電子工業寶貴的物質與技能載體