但在研討院所的科研開發，Planar背靠獨聯體國家和少數的中歐訂單在如火如荼的技能和商業浪潮中幸存下來。至80年代末，現在，但仍是留下了一顆火種發光發熱。現在搶手的SiC功率器材也有不少在運用這種光刻設備。

兩者都運用飛秒激光對光罩上的缺點結構進行物理燒蝕，我國前期的半導體技能也源自于東德：上世紀50年代 ，

而步進式光刻機也現已無法滿意現在超大規劃集成電路制作的需求 
。我國和俄羅斯都著力于開展獨當一面的半導體制作技能，同為暗斗一極的蘇聯則太過于默默無聞了 ，值得一提的是