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只是精度和速度兩個要求,供給苛刻的技能目標和規劃輔導。是半導體制作工藝中無法省掉的檢測進程。導電互聯的要害參數之一。并參加了Archer 600(10nm)與Archer 700(7nm)的要害規劃,依照技能途徑區分,而經過丈量衍射圖譜的對稱性就能夠取得套刻差錯的信息。因而Overlay設備的分辨率要求更高,不然AI算力基礎建造的國產化將是無米之炊