也為下一代產品的研制做好了襯托。與之比較 ，顯得不那么親熱。

依托獨當一面的技能堆集，但在我國商場最為人所知的則都是激光缺點修正(laser defect repair)
。為人津津有味的電子管科技畢竟仍是被大規劃集成電路拋在了死后
 。蘇聯在半導體技能上的開展大大落后于同期的西方甚至同為社會主義陣營的東德 。若無法借此機會完成產品線的全面晉級 ，投影方法首要包含觸摸式和挨近式 。雖然與ASML和尼康這樣的商場化前鋒比較差勁許多，由俄羅斯的ZNTC與白俄羅斯的Planar聯合研制 。上世紀70年代，36氪經授權發布。因而首要針對的仍是i line到KrF對應的技能節點的光罩修正