兩者都運用飛秒激光對光罩上的缺點結構進行物理燒蝕，為后來的步進式光刻機的光源技能開展奠定了根底 。白俄羅斯承當了其間工程完成與精細制作的中心環節。并開端尋求國際協作。至今同步輻射與自由電子EUV依舊是業界所研討開展的高功率相干EUV光源技能道路